半導體單晶硅片—生產廢水處理
項目背景
客戶屬于半導體材料大型生產企業,產品包含區溶硅單晶、直拉硅單晶、多晶硅、太陽能單晶硅棒、硅片等。本項目主為解決要生產硅片清洗水達標排放問題。此次為擴建技改項目,為改進技術,采用先進工藝技術和設備,從源頭削減污染,提高資源利用率,減少污染物排放,以達到清潔生產的目的
企業面臨的挑戰
企業內建有廢水站,傳統處理方式,對化學鎳廢液處理效果不理想,酸堿廢水中含有COD,BOD,氨氮,石油類,總磷等物質,廢水處理后需達到三?級排放標準,企業危廢處置成本增加。
待處理水量及委外成本
廢水:硅片產線清洗廢水
廢水水量約:2T/D
委外處理成本:約3500元/噸。
年處理費用約:210萬
優勢:
● 占地面積小,易清潔維護
● 自動化程度高,減少人工操作
● 蒸餾水出水質量穩定,節省水資源
● 廢水處理的工序安全和運行安全
● 減少能源和運營成本
● 廢棄處理量減少至最小倍數
1.收集廢液濃縮液收集進入至廢水存儲池內,中和廢液,調節PH值后
2.中和后廢液經過濾器,去除固體顆粒物及雜質
3.過濾后廢液進入EVLO-100+EVLS-25 進行蒸發濃縮結晶處理
4.蒸餾水排至廠區廢水站。
5.蒸發后濃縮結晶泥收集至污泥車,減少危廢體積,委外處理。
廢水水質處理前后數據
廢水蒸發濃縮 & 濃縮液減量
解決方案:
水質指標 | 處理前廢水指標 | 處理后廢水指標 |
PH | 7.7 | 8.75 |
CND | 205.3ms/cm | 543.9us/cm |
TDS | 103.2g/L | 271.9mg/L |
COD | 13350mg/L | 350mg/L |
重金屬 | 超檢測上限 | 未被檢出 |
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項目實施效果:
項目安裝運行 & 經濟效益分析
1.蒸發設備處理濃廢水量約1.5-2噸/天(一天20小時運行狀態)。
2.設備調試后穩定運行1年,
3.廢水蒸發濃縮比約提高為85%
4.設備僅1名操作點檢維護人員
5.年節約廢水委外費用約160萬
6.蒸餾水出水穩定合格,排入廢水站
7.污水在減排零排方面做到了達標
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